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标题
Investigation of gallium oxide thin film hetero-integrated with bulk diamond via atomic layer deposition
原子层沉积法制备大块金刚石异质集成氧化镓薄膜的研究
相关领域
钻石 材料科学 X射线光电子能谱 金刚石材料性能 拉曼光谱 分析化学(期刊) 薄膜 微晶 异质结 原子层沉积 光电子学 纳米技术 化学 光学 化学工程 冶金 物理 工程类 色谱法
网址
DOI
10.1016/j.apsusc.2023.158502 doi
其它 期刊:Applied Surface Science
作者:Lin Gu; Hong-Ping Ma; Yuan Li; A. Y. Wang; Wen-Jie Chen; et al
出版日期:2023-12-01
求助人
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