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Controllable Photonic Structures on Silicon-on-Insulator Devices Fabricated Using Femtosecond Laser Lithography
飞秒激光光刻制备绝缘体上硅器件的可控光子结构
相关领域
绝缘体上的硅
材料科学
飞秒
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期刊:ACS Applied Materials & Interfaces 作者:Ji Huang; Lan Jiang; Xiaowei Li; Shipeng Zhou; Shuai Gao; et al 出版日期:2021-08-30 |
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