标题 |
Understanding the Effect of Top Electrode on Ferroelectricity in Atomic Layer Deposited Hf0.5Zr0.5O2 Thin Films
原子层沉积Hf0.5Zr0.5O2薄膜中顶电极对铁电性影响的研究
相关领域
粒度
材料科学
铁电性
电极
薄膜
原子层沉积
表征(材料科学)
图层(电子)
分析化学(期刊)
光电子学
电介质
纳米技术
复合材料
化学
色谱法
物理化学
|
网址 | |
DOI | |
求助人 | |
下载 | 该求助完结已超 24 小时,文件已从服务器自动删除,无法下载。 |
温馨提示:该文献已被科研通 学术中心 收录,前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库,收集文献的基本信息(如标题、摘要、期刊、作者、被引量等),不提供下载功能。如需下载文献全文,请通过文献求助获取。
|