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Defects induced by focused ion beam implantation in GaAs
聚焦离子束注入GaAs中的缺陷
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离子注入
退火(玻璃)
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期刊:Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics processing and phenomena 作者:Hideto Miyake 出版日期:1988-05-01 |
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