Theory and molecular simulations of plasma sputtering, transport and deposition processes

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标题	Theory and molecular simulations of plasma sputtering, transport and deposition processes 等离子体溅射、传输和沉积过程的理论和分子模拟相关领域溅射分子动力学蒙特卡罗方法动力学蒙特卡罗方法沉积（地质）等离子体溅射沉积化学物理动能 Atom（片上系统）材料科学统计物理学薄膜化学纳米技术物理计算化学计算机科学核物理学经典力学生物统计嵌入式系统古生物学数学沉积物
网址	https://doi.org/10.1140/epjd/s10053-023-00592-x
DOI	10.1140/epjd/s10053-023-00592-x doi
其它	期刊：The European physical journal. D, Atomic, molecular and optical physics/The European physical journal. D, Atomic, molecular, optical and plasma physics 作者：Pascal Brault; Anne Lise Thomann; Marjorie Cavarroc 出版日期：2023-02-01
求助人	Dellamoffy 在 2024-07-04 07:50:49 发布自四川，悬赏 10 积分
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