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Design of a Novel Wet-Etch Reactor and Etch Chemistries: Simulations and Experimental Verification
一种新型湿法蚀刻反应器的设计及蚀刻化学:模拟与实验验证
相关领域
氢氟酸
水溶液
选择性
蚀刻(微加工)
化学
腐蚀坑密度
电介质
化学工程
分析化学(期刊)
材料科学
无机化学
物理化学
色谱法
有机化学
光电子学
催化作用
图层(电子)
工程类
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期刊:ECS transactions 作者:Ashish A. Pande; Galit Levitin; D. S. L. Mui; Dennis W. Hess 出版日期:2010-04-16 |
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