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标题
Compositional control and electrical performance of atomic layer deposited Al2O3/TiO2 nanolaminates
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DOI
10.1016/j.mssp.2025.110105 doi
其它 期刊:Materials Science in Semiconductor Processing
作者:Yuan Xu; Ying Pan; Lingshan Gao; Faqiang Zhang; Mingsheng Ma; et al
出版日期:2026-01-01
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