Predictive models for the surface roughness and subsurface damage depth of semiconductor materials in precision grinding

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标题	Predictive models for the surface roughness and subsurface damage depth of semiconductor materials in precision grinding
网址	https://iopscience.iop.org/article/10.1088/2631-7990/adae67
DOI	10.1088/2631-7990/adae67 doi
其它	期刊：International Journal of Extreme Manufacturing 作者：Shang Gao; Haoxiang Wang; Han Huang; Zhigang Dong; Renke Kang 出版日期：2025-02-06
求助人	啦啦啦在 2026-08-15 23:45:33 发布自北京，悬赏 10 积分
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