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标题
Atomic layer deposition of MoNx thin films using a newly synthesized liquid Mo precursor
网址
https://doi.org/10.1116/6.0002154
DOI
10.1116/6.0002154 doi
其它 期刊：Journal of vacuum science & technology
作者：Byunguk Kim; Sangmin Lee; Taesung Kang; Sung‐Hoon Kim; Sang‐Man Koo; et al
出版日期：2022-11-15
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火星上初柳 在 2026-08-15 00:52:35 发布自北京，悬赏 10 积分
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