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标题
Kinetic rate expression for tungsten chemical vapor deposition in different WF6 flow regimes from step coverage measurements
网址
https://www.semanticscholar.org/paper/fda64c512719d6a834d62c...
DOI
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其它 期刊：Zeitschrift Fur Metallkunde
作者：E. J. Mclnerney; E. Srinivasan; D. C. Smith; G. Ramanath
出版日期：2000-01-01
求助人
靳增佳 在 2026-07-21 22:29:49 发布自陕西，悬赏 10 积分
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  • 1天前

    靳增佳 靳增佳 Lv1 求助人 发起了本次求助

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