Characterization of PECVD Si3N4 thin film in multiple oxide–nitride stack for 3D-NAND flash memory

已完结

文献求助详情

标题	Characterization of PECVD Si3N4 thin film in multiple oxide–nitride stack for 3D-NAND flash memory
网址	https://doi.org/10.1088/1361-6641/ad03fc
DOI	10.1088/1361-6641/ad03fc doi
其它	期刊：Semiconductor Science and Technology 作者：Jaekeun Baek; Surin An; Ahhyun Park; Ki‐Yeon Kim; Sang Jeen Hong 出版日期：2023-10-17
求助人	mrp 在 2026-07-21 01:02:54 发布自日本，悬赏 10 积分
下载	求助已完成，仅限求助人下载。

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

科研通，让源源不断科研创作灵感的涌现之地

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 冯冯完成签到，获得积分10

刚刚; 脑洞疼上传了应助文件

5秒前; cnspower发布了新的文献求助10

6秒前; pyt发布了新的文献求助10

9秒前; ding的应助被lingyin采纳，获得10

10秒前; 禾不乐完成签到，获得积分10

11秒前; gAle完成签到，获得积分10

28秒前; 深情安青的应助被五里采纳，获得10

29秒前; 三三完成签到，获得积分10

45秒前; 可爱的函函上传了应助文件

47秒前; lingyin发布了新的文献求助10

52秒前; 充电宝上传了应助文件

1分钟前; 希望天下0贩的0上传了应助文件

1分钟前; 柠檬黄发布了新的文献求助10

1分钟前; 个性成风发布了新的文献求助10

1分钟前; 表弟慢热手的应助被elle采纳，获得10

1分钟前; ding上传了应助文件

1分钟前; lingyin发布了新的文献求助10

1分钟前; 大接特接accept上传了应助文件

1分钟前; 虚拟的清炎完成签到，获得积分10

1分钟前; 02ZT完成签到，获得积分10

1分钟前; 桐桐的应助被柠檬黄采纳，获得10

1分钟前; Kao的应助被科研通管家采纳，获得10

1分钟前; Kao的应助被科研通管家采纳，获得10

1分钟前; Kao的应助被科研通管家采纳，获得10

1分钟前; Kao的应助被科研通管家采纳，获得10

1分钟前; Kao的应助被科研通管家采纳，获得10

1分钟前; FashionBoy的应助被lingyin采纳，获得10

1分钟前; 苯苯完成签到，获得积分10

2分钟前; zachary009完成签到，获得积分10

2分钟前; 科研通AI6.3上传了应助文件

2分钟前; 冰虚完成签到，获得积分10

2分钟前; 顾矜的应助被lingyin采纳，获得10

2分钟前; 成天发布了新的文献求助10

2分钟前; qikewu发布了新的文献求助30

2分钟前; 成天完成签到，获得积分10

2分钟前; 文Bo博发布了新的社区帖子

2分钟前; flyinthesky完成签到，获得积分10

3分钟前; HC完成签到，获得积分10

3分钟前; Owen的应助被Exil_Modric采纳，获得10

3分钟前