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Ceramic Coatings Prepared by Plasma Spraying for Semiconductor Production Equipment 相关领域
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| DOI |
10.31399/asm.cp.itsc2006p0557
doi
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期刊:Thermal spray 作者:N. Kato; H. Mizuno; H. Ibe; J. Kitamura 出版日期:2006-05-15 |
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