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  The Influence of Short-Type Heaters and Their Positions on the Oxygen Concentration in the Growth of 300 mm Single Crystal Silicon by the Czochralski Method 相关领域
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期刊：Crystals 作者：Yunfei Zhu; Deng Deng; Ruifeng Qin; Zhiyuan Shan; Yang Li; et al 出版日期：2026-01-08 |
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