Microstructure, mechanical properties and tribological behavior of (TiZrHfNbTa)Nx high entropy films deposited by magnetron sputtering

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标题	Microstructure, mechanical properties and tribological behavior of (TiZrHfNbTa)Nx high entropy films deposited by magnetron sputtering 相关领域材料科学微观结构溅射沉积无定形固体结晶度复合材料溅射弹性模量氮化物薄脆饼薄膜纳米技术结晶学化学图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2024.01.217
DOI	10.1016/j.ceramint.2024.01.217 doi
其它	期刊：Ceramics International 作者：Fanyong Zhang; Ruibin Zhao; Honglu Ma; Hongshu Jin; Liangquan Wang; et al 出版日期：2024-01-18
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