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High-precision 12-times optical subdivision heterodyne laser interferometer for short-distance measurement 用于短距离测量的高精度12倍光细分外差激光干涉仪
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期刊:Optics Express 作者:Yin Yunfei; Xihan Sun; Yong Liu; Shasha Yin; Jianke Zhao; et al 出版日期:2025-11-14 |
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