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Low-thermal-budget crystallization of ferroelectric Al:HfO2 films by millisecond flash lamp annealing
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网址
https://doi.org/10.35848/1347-4065/ad70bf
DOI
10.35848/1347-4065/ad70bf doi
其它 期刊：Japanese Journal of Applied Physics
作者：Hideaki Tanimura; Yuma Ueno; Tomoya Mifune; Hironori Fujisawa; Seiji Nakashima; et al
出版日期：2024-08-19
求助人
naraku 在 2026-01-24 19:04:30 发布自北京，悬赏 10 积分
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