Synthesis of CeO 2 Composite Particles for Chemical Mechanical Polishing of Single-Crystal SiC Substrates and Their Polishing Applications: A Review

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标题	Synthesis of CeO 2 Composite Particles for Chemical Mechanical Polishing of Single-Crystal SiC Substrates and Their Polishing Applications: A Review 相关领域材料科学抛光碳化硅复合数化学机械平面化脆性粒子（生态学）基质（水族馆）复合材料半导体表征（材料科学）纳米颗粒碳化物硅数码产品铈粒径纳米技术研磨磨料加工晶体硅航空航天涂层半导体器件冶金微尺度化学宽禁带半导体陶瓷
网址	https://doi.org/10.1021/acsami.5c24152 AI链接 nih.govdoi.org
DOI	10.1021/acsami.5c24152 doi
其它	期刊：ACS Applied Materials & Interfaces 作者：Xin Chen; Jisheng Pan; Hang Zhang; Yixin Liu 出版日期：2026-01-12
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