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 Analysis of the Pre-epi Bake Conditions on the Defect Creation in Recessed SiGe S/D Junctions 相关领域
材料科学
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光电子学
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期刊：ECS Transactions 作者：Mireia Bargalló González; N. Thomas; Eddy Simoen; Peter Verheyen; Andriy Hikavyy; et al 出版日期：2007-09-28 |
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