Effects of vacuum-plasma etching on the electrical properties of thin ferroelectric PZT films

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标题	Effects of vacuum-plasma etching on the electrical properties of thin ferroelectric PZT films 相关领域材料科学铁电性蚀刻（微加工）等离子体刻蚀等离子体薄膜光电子学铁电电容器复合材料纳米技术电介质量子力学物理图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1117/12.2520548
DOI	10.1117/12.2520548 doi
其它	期刊：作者：Д. С. Серегин; К. А. Воротилов; Д. А. Абдуллаев; Dmitry N. Zubov 出版日期：2019-03-15
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