发布文献求助
求助中
  • 文献求助详情
标题
Area-selective atomic layer deposition of dielectric-on-dielectric for Cu/low-k dielectric patterns
Cu/低k电介质图案的电介质对电介质的区域选择性原子层沉积
相关领域
原子层沉积 电介质 沉积（地质） 材料科学 制作 高-κ电介质 化学气相沉积 选择性 图层（电子） 化学工程 纳米技术 光电子学 分析化学（期刊） 无机化学 化学 环境化学 有机化学 催化作用 生物 工程类 医学 病理 古生物学 替代医学 沉积物
网址
https://doi.org/10.1117/12.2519845
DOI
10.1117/12.2519845 doi
其它 期刊：
作者：Tzu‐Ling Liu; Stacey F. Bent
出版日期：2019-05-15
求助人
平常的凛 在 2025-10-29 09:01:29 发布自陕西，悬赏 20 积分
下载 暂无链接，等待应助者上传
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
相关文献
  1. Spatial atomic layer deposition: A route towards further industrialization of atomic layer depositio...
  2. Characteristics and applications of plasma enhanced-atomic layer deposition
  3. Two-step annealing effects on ultrathin EOT higher-k (k=40) ALD-HfO2 gate stacks
  4. Modelling the Deposition of High-k Dielectric Films by First Principles
  5. ALD: Atomic Layer Deposition – Precise and Conformal Coating for Better Performance
  6. Extremely Scaled (∼0.2 nm) Equivalent Oxide Thickness of Higher-k(k= 40) HfO2Gate Stacks Prepared b...
  7. Modeling and Engineering of Hafnium Silicate (HfSiO) Gate Dielectrics Deposited by Nano-Laminated At...
  8. Application of atomic layer deposition in nanophotonics
  9. Atomic layer deposition of high-k dielectrics from novel cyclopentadienyl-type precursors
  10. Extremely Scaled Equivalent Oxide Thickness of High-k (k=40) HfO2 Gate Stacks Prepared by Atomic Lay...
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 现在，等待您上传文献

  • 1天前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    09:01:33 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    09:01:30 科研通AI机器人（北京）收到请求，开始寻找文献
    09:01:29 已向机器人发送请求

  • 1天前

    平常的凛 平常的凛 Lv4 求助人 发起了本次求助

更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
2秒前
Akebi发布了新的文献求助10
3秒前
积极的雅寒完成签到，获得积分10
3秒前
FashionBoy的应助被zc采纳，获得10
4秒前
4秒前
4秒前
魔幻冷梅发布了新的文献求助10
5秒前
赵欣慧完成签到，获得积分10
5秒前
是多少的应助被搞怪的世德采纳，获得10
6秒前
7秒前
沈平灵完成签到，获得积分10
8秒前
8秒前
9秒前
yang发布了新的文献求助10
9秒前
10秒前
fcy发布了新的文献求助10
11秒前
11秒前
哈哈哈发布了新的文献求助10
11秒前
风趣的冬日完成签到，获得积分10
12秒前
贪玩仙人掌完成签到，获得积分10
12秒前
zh发布了新的文献求助10
13秒前
14秒前
自信猕猴桃完成签到 ，获得积分10
14秒前
麞欎发布了新的文献求助10
15秒前
大鱼发布了新的文献求助10
15秒前
开始啦完成签到，获得积分10
16秒前
16秒前
17秒前
乐乐的应助被666采纳，获得10
17秒前
17秒前
17秒前
18秒前
18秒前
YL_娟头儿完成签到，获得积分10
19秒前
开始啦发布了新的文献求助10
19秒前
alive完成签到，获得积分10
19秒前
老阎的应助被Rita采纳，获得30
20秒前
YifanWang的应助被潇潇雨歇采纳，获得10
20秒前
20秒前
Jasper的应助被阿巴阿巴采纳，获得10
20秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Einführung in die Rechtsphilosophie und Rechtstheorie der Gegenwart 1500
Cowries - A Guide to the Gastropod Family Cypraeidae 1200
Handbook of Milkfat Fractionation Technology and Application, by Kerry E. Kaylegian and Robert C. Lindsay, AOCS Press, 1995 1000
Reflections of female probation practitioners: navigating the challenges of working with male offenders 500
Probation staff reflective practice: can it impact on outcomes for clients with personality difficulties? 500
PRINCIPLES OF BEHAVIORAL ECONOMICS Microeconomics & Human Behavior 400
热门求助领域 （近24小时）
化学 医学 生物 材料科学 工程类 有机化学 内科学 生物化学 物理 计算机科学 纳米技术 遗传学 基因 复合材料 化学工程 物理化学 病理 催化作用 免疫学 量子力学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 5028795
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 4264588
关于积分的说明 13294633
捐赠科研通 4072778
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 2227630
邀请新用户注册赠送积分活动 1236146
关于科研通互助平台的介绍 1160443
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通