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 Influence of the Design Features of a Magnetron Sputtering Deposition System on the Electrical and Optical Properties of Indium—Tin Oxide Films 磁控溅射沉积系统的设计特点对氧化铟锡薄膜电学和光学性能的影响
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期刊：Semiconductors 作者：Д.А. Кудряшов; A. A. Maksimova; Ekaterina Vyacheslavova; A V Uvarov; I. A. Morozov; et al 出版日期：2021-04-01 |
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