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 Silicon microhole array prepared by ICP ICP制备硅微孔阵列
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期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：Qingduo Duanmu; Anping Zhang; Guozheng Wang; Yanjun Gao; Ye Li; et al 出版日期：2004-12-30 |
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