The interplay of process parameters and influence on the AlN films on sapphire fabricated by DC magnetron sputtering and annealing

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标题	The interplay of process parameters and influence on the AlN films on sapphire fabricated by DC magnetron sputtering and annealing 直流磁控溅射和退火工艺参数对蓝宝石AlN薄膜的影响相关领域材料科学溅射蓝宝石薄膜退火（玻璃）分析化学（期刊）氮化物高功率脉冲磁控溅射溅射沉积结晶图层（电子）光学激光器冶金复合材料化学纳米技术有机化学色谱法物理
网址	https://doi.org/10.1088/1361-6641/aca8ca
DOI	10.1088/1361-6641/aca8ca doi
其它	期刊：Semiconductor Science and Technology 作者：Huan Liu; Wei Guo 出版日期：2022-12-05
求助人	郑多多啊在 2025-07-30 10:11:08 发布自江西，悬赏 10 积分
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