Mechanism of C4F8 dissociation in parallel-plate-type plasma

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标题	Mechanism of C4F8 dissociation in parallel-plate-type plasma 平行板型等离子体中C4F8解离的机理相关领域离解（化学）等离子体激进的离子电子氟碳化合物电子密度化学聚合材料科学光化学物理化学有机化学聚合物物理量子力学
网址	https://doi.org/10.1116/1.581997
DOI	10.1116/1.581997 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Hisataka Hayashi; Satoshi Morishita; Tetsuya Tatsumi; Yukinobu Hikosaka; Shuichi Noda; et al 出版日期：1999-09-01
求助人	归尘在 2025-06-26 10:35:18 发布自安徽，悬赏 10 积分
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