铜互连中PVD Ta/TaN阻挡层的性能改进与缺陷控制研究

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标题	[高分] 学位论文铜互连中PVD Ta/TaN阻挡层的性能改进与缺陷控制研究
网址	求助人暂未提供
DOI	暂未提供，该求助的时间将会延长，查看原因？
其它	顾炜，上海交大，硕士论文
求助人	Ryan 在 2025-06-16 12:47:34 发布自河北，悬赏 50 积分
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