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 Improvement in Electrical Characteristics of BE-SONOS Using High-k Dielectrics in Tunneling Barrier 隧道势垒中高k电介质改善BE-SONOS的电学特性
相关领域
材料科学
量子隧道
电介质
光电子学
带偏移量
氧化物
高-κ电介质
氮化物
栅极电介质
缩放比例
氧化硅
带隙
硅
纳米技术
栅氧化层
介电常数
氮化硅
价带
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电气工程
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数学
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期刊：Transactions on Electrical and Electronic Materials 作者：Vaibhav Neema; Mansimran Kaur; Deepika Gupta; Santosh Kumar Vishvakarma; Arya Dutt; et al 出版日期：2021-03-19 |
| 求助人 |
沪橙
在
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