标题 |
Investigation on the Design Method and Failure Mechanism of Silicon-Based MEMS Setback Arming Device
硅基MEMS缩进解除装置的设计方法及失效机理研究
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期刊:Mechanisms and machine science 作者:Ziyang Ni; Ying Liu; Jin Xie; Yunlai Liao; Jun Dai 出版日期:2022-01-01 |
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