Zirconium disulfide film improved by hydrogen-sulfide annealing at BEOL-compatible temperature with less surface residual sulfur

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标题	Zirconium disulfide film improved by hydrogen-sulfide annealing at BEOL-compatible temperature with less surface residual sulfur
网址	http://dx.doi.org/10.35848/1347-4065/ae361b
DOI	10.35848/1347-4065/ae361b doi
其它	期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Taiga Fuse; Naoki Matsunaga; Masaki Otomo; Takuya Hoshii; Kuniyuki Kakushima; et al 出版日期：2026-02-06
求助人	Louuuue 在 2026-11-02 22:36:43 发布自重庆，悬赏 10 积分
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