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标题
An integration path for gate-first UTB III-V-on-insulator MOSFETs with silicon, using direct wafer bonding and donor wafer recycling
相关领域
材料科学 晶片键合 薄脆饼 绝缘体上的硅 光电子学 MOSFET 阳极连接 直接结合 栅氧化层
网址
DOI
10.1109/iedm.2012.6479088 doi
其它 期刊:2012 International Electron Devices Meeting
作者:L. Czornomaz; N. Daix; D. Caimi; M Sousa; R. Erni; et al
出版日期:2013-03-21
求助人
研友_Z7m7lL 在 2020-11-05 14:58:23 发布,悬赏 10 积分
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