Laser produced plasma EUV sources for HVM 7nm node lithography: progress in availability and prospects of power scaling - 科研通

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标题	Laser produced plasma EUV sources for HVM 7nm node lithography: progress in availability and prospects of power scaling 相关领域极紫外光刻光电子学材料科学激光器功率（物理）平版印刷术等离子体极端紫外线临界尺寸
网址	https://doi.org/10.1117/12.2515017
DOI	10.1117/12.2515017 doi
其它	期刊：Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography X 作者：Igor V. Fomenkov; Nelson M. Felix; Kenneth A. Goldberg 出版日期：2019
求助人	ABA 在 2022-07-31 00:45:46 发布自浙江，悬赏 10 积分
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