标题 |
The planar junction etch for high voltage and low surface fields in planar devices
相关领域
硅
二极管
蚀刻(微加工)
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DOI | |
其它 |
期刊:IEEE Transactions on Electron Devices 作者:V.A.K. Temple; B. Baliga; M.S. Adler 出版日期:2008-01-12 |
求助人 |
妞妞 在
2022-03-30 16:03:41 发布,悬赏 10 积分
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