标题 |
A Novel Tri-Axial Piezoelectric MEMS Accelerometer with Folded Beams
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DOI |
10.3390/s21020453
doi
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其它 |
期刊:Sensors 作者:Yan Liu; Bohao Hu; Yao Cai; Wenjuan Liu; Alexander Tovstopyat; Chengliang Sun 出版日期:2021-01-12 |
求助人 |
舍曼 在
2021-07-07 20:03:40 发布,悬赏 10 积分
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