| 标题 |
 Study of the VHF Plasma Etching of Micro/Nano Patterned PMMA Coated on Ultra-Thin Flexible Glass Substrates 相关领域
材料科学
光电子学
复合材料
蚀刻（微加工）
薄膜
等离子体刻蚀
等离子体
纳米-
基质（水族馆）
反应离子刻蚀
制作
硅
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| 其它 |
期刊：Plasma Processes and Polymers 作者：Aparajita Mandal; Arindam Kole; Sean M. Garner; Partha Chaudhuri 出版日期：2016 |
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hhh
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2022-05-11 09:26:51 发布，悬赏 10 积分
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