Nanoimprint lithography

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标题	Nanoimprint lithography
网址	https://doi.org/10.1116/1.588605
DOI	10.1116/1.588605 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures Processing, Measurement, and Phenomena 作者：Stephen Y. Chou; Peter R. Krauss; Preston J. Renstrom 出版日期：1996
求助人	lanxinyue 在 2026-02-04 04:33:33 发布自法国，悬赏 10 积分
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