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 Dry etching characteristics of titanium dioxide grown by different physical vapor deposition processes 不同物理气相沉积工艺生长二氧化钛的干法刻蚀特性
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期刊：Journal of vacuum science and technology 作者：J. Ye; Wentao Yan; Ruyuan Ma; Mingliang Zhao; Yang Qiu; et al 出版日期：2025-07-31 |
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