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3-D Self-Aligned Stacked Ge Nanowire pGAAFET on Si nFinFET of Single Gate CFET 单栅CFET的Si nFinFET上三维自对准堆叠Ge纳米线pGAAFET
相关领域
材料科学
纳米线
薄脆饼
蚀刻(微加工)
离子
光电子学
阈下斜率
绝缘体上的硅
晶体管
阈下摆动
场效应晶体管
缩放比例
硅
纳米技术
电气工程
电压
物理
图层(电子)
工程类
几何学
量子力学
数学
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期刊:IEEE Journal of the Electron Devices Society 作者:Yi-Wen Lin; Shan-Wen Lin; Bo‐An Chen; Chong-Jhe Sun; Siao-Cheng Yan; et al 出版日期:2023-01-01 |
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