Study on new magnetorheological chemical polishing process for GaN crystals: polishing solution composition, process parameters, and roughness prediction model

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标题	Study on new magnetorheological chemical polishing process for GaN crystals: polishing solution composition, process parameters, and roughness prediction model 相关领域抛光材料科学磨料磁流变液表面粗糙度氮化镓化学机械平面化扫描电子显微镜复合材料表面光洁度光电子学结构工程工程类阻尼器图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1088/1361-665x/acb86f
DOI	10.1088/1361-665x/acb86f doi
其它	期刊：Smart Materials and Structures 作者：Jinzhong Wu; Burhan Afzal; Zhilong Huang; Maoju Yang; S. S. Sun 出版日期：2023-02-02
求助人	崔龙锋在 2025-09-25 13:09:17 发布自浙江，悬赏 10 积分
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