Deposition and mechanical properties of δ-TaNx films with different stoichiometry by DC magnetron sputtering - 科研通

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标题	Deposition and mechanical properties of δ-TaNx films with different stoichiometry by DC magnetron sputtering 不同化学计量比δ-TaNx薄膜的直流磁控溅射沉积及力学性能相关领域材料科学摩擦学复合材料溅射沉积高分辨率透射电子显微镜化学计量学弹性模量 X射线光电子能谱断裂韧性微观结构压痕硬度腔磁控管拉曼光谱薄膜摩擦学溅射化学工程纳米技术透射电子显微镜光学工程类物理有机化学化学
网址	https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2020.126452
DOI	10.1016/j.surfcoat.2020.126452 doi
其它	期刊：Surface and Coatings Technology 作者：Hang Li; Jianliang Li; Chengqi Yan; Jiewen Huang; Jian Kong; et al 出版日期：2020-09-30
求助人	wqs66616 在 2025-05-31 15:47:36 发布自江苏，悬赏 10 积分
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