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Comparative study of etching high crystalline quality AlN and GaN 高结晶质量AlN和GaN腐蚀的比较研究
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期刊:Journal of Crystal Growth 作者:Weihua Guo; Jinqiao Xie; Christer‐Rajiv Akouala; Seiji Mita; A. Rice; et al 出版日期:2013-01-04 |
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