Recent developments and applications of chemical mechanical polishing

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标题	Recent developments and applications of chemical mechanical polishing 化学机械抛光的研究进展及应用相关领域化学机械平面化薄脆饼材料科学磨料抛光泥浆表面粗糙度表面光洁度飞秒光电子学机械工程复合材料激光器光学物理工程类
网址	https://doi.org/10.1007/s00170-020-05740-w
DOI	10.1007/s00170-020-05740-w doi
其它	期刊：The International Journal of Advanced Manufacturing Technology 作者：Zhang Zhong 出版日期：2020-07-01
求助人	木子剑光军在 2025-04-29 16:43:14 发布自上海，悬赏 10 积分
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