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Recent developments and applications of chemical mechanical polishing

化学机械平面化薄脆饼材料科学磨料抛光泥浆表面粗糙度表面光洁度飞秒光电子学机械工程复合材料激光器光学物理工程类

作者

Z.W. Zhong

出处

期刊：The International Journal of Advanced Manufacturing Technology [Springer Science+Business Media]
日期：2020-07-01 卷期号：109 (5-6): 1419-1430 被引量：43

标识

DOI：10.1007/s00170-020-05740-w

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