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标题
Embedded silicon carbide “replicas” patterned by rapid thermal processing of DNA origami on silicon
通过在硅上快速热处理DNA折纸图案化的嵌入式碳化硅“复制品”
相关领域
碳化硅 材料科学 蚀刻(微加工) 纳米技术 氢氟酸 各向同性腐蚀 扫描电子显微镜 X射线光电子能谱 抵抗 纳米结构 光电子学 化学工程 复合材料 冶金 图层(电子) 工程类
网址
DOI
10.1116/1.4965726 doi
其它 期刊:Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena
作者:Michelle A. Pillers; Marya Lieberman
出版日期:2016-10-27
求助人
缥缈的万声 在 2025-06-07 11:10:51 发布自陕西,悬赏 10 积分
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