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The effects on plasma properties of a current node on inductively coupled plasma sources
电感耦合等离子体源中电流节点对等离子体特性的影响
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期刊:Plasma Sources Science and Technology 作者:S. Srinivasan; J. Marquis; L. Pratti; Marwan Khater; Matthew Goeckner; et al 出版日期:2003-06-16 |
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