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标题
Superconformal and Bottom-up Filling of High Aspect Ratio Features
高纵横比特征的超共形自底向上填充
相关领域
材料科学 堆积 沉积(地质) 制作 电解质 电化学 平面的 纳米技术 纵横比(航空) 冶金 光电子学 电极 化学 地质学 计算机科学 沉积物 有机化学 替代医学 古生物学 物理化学 病理 医学 计算机图形学(图像)
网址
DOI
10.1149/ma2019-02/28/1262 doi
其它 期刊:Meeting abstracts/Meeting abstracts (Electrochemical Society. CD-ROM)
作者:Daniel Josell; Trevor Michael Braun; Stephen Ambrozik; Thomas P. Moffat
出版日期:2019-09-01
求助人
默默的白开水 在 2024-04-23 11:04:40 发布,悬赏 10 积分
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  • 11天前

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