Chemical vapor deposition of layered two-dimensional MoSi 2 N 4 materials

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标题	Chemical vapor deposition of layered two-dimensional MoSi 2 N 4 materials 层状二维MoSi2N4材料的化学气相沉积相关领域单层化学气相沉积硅材料科学蚀刻（微加工）氮化硅氮化物各向同性腐蚀图层（电子）半导体化学稳定性碳化物过渡金属化学工程纳米技术复合材料冶金化学光电子学催化作用有机化学工程类
网址	https://doi.org/10.1126/science.abb7023
DOI	10.1126/science.abb7023 doi
其它	期刊：Science 作者：Youliang Hong; Zhibo Liu; Lei Wang; Tianya Zhou; Wei Ma; et al 出版日期：2020-08-07
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