Optimization of the CMP Process with Colloidal Silica Performance for Bulk AlN Single Crystal Substrate

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标题	Optimization of the CMP Process with Colloidal Silica Performance for Bulk AlN Single Crystal Substrate
网址	http://kjmm.org/upload/pdf/kjmm-2019-57-9-582.pdf
DOI	10.3365/kjmm.2019.57.9.582 doi
其它	期刊：Korean Journal of Metals and Materials 作者：Hyo Sang Kang; Joo Hyung Lee; Jae Hwa Park; Hee Ae Lee; Won Il Park; et al 出版日期：2019-09-05
求助人	伊卡洛斯在 2026-08-14 01:37:58 发布自重庆，悬赏 10 积分
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