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 Simultaneous Real Time Spectroscopic Ellipsometry and Reflectance for Monitoring Semiconductor and Thin Film Preparation 半导体和薄膜制备过程中实时光谱椭偏和反射率的同时监测
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期刊：MRS Proceedings 作者：Ilsin An; Hien Van Nguyen; A. R. Heyd; R. W. Collins 出版日期：1993-01-01 |
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