Comparative Study on Performance of IGZO Transistors With Sputtered and Atomic Layer Deposited Channel Layer

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标题	Comparative Study on Performance of IGZO Transistors With Sputtered and Atomic Layer Deposited Channel Layer 溅射沟道与原子层沉积沟道IGZO晶体管性能的比较研究相关领域无定形固体材料科学分析化学（期刊）立体化学物理结晶学化学有机化学
网址	https://doi.org/10.1109/ted.2019.2899586
DOI	10.1109/ted.2019.2899586 doi
其它	期刊：IEEE Transactions on Electron Devices 作者：Min Hoe Cho; Hyunju Seol; Aeran Song; Seonjun Choi; Yun-Heub Song; et al 出版日期：2019-04-01
求助人	清新的沛蓝在 2023-11-12 17:55:48 发布自福建，悬赏 10 积分
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