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标题
Investigation of silicon carbon oxynitride thin film deposited by RF magnetron sputtering
射频磁控溅射沉积硅碳氧氮化物薄膜的研究
网址
https://doi.org/10.1016/j.apsadv.2023.100546
DOI
10.1016/j.apsadv.2023.100546 doi
其它 期刊：Applied Surface Science Advances
作者：Abbas Ali Aghaei; Akbar Eshaghi; Mazaher Ramazani; Hossein Zabolian; Marzieh Abbasi-Firouzjah
出版日期：2024
求助人
七七 在 2025-02-17 10:15:23 发布自浙江，悬赏 10 积分
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