Tuning, modelling, and verifying effects of intermixing on EUV multilayer mirror performance via a combined simulation and experimental approach

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标题	Tuning, modelling, and verifying effects of intermixing on EUV multilayer mirror performance via a combined simulation and experimental approach
网址	http://dx.doi.org/10.1117/12.3071890
DOI	10.1117/12.3071890 doi
其它	期刊：Photomask Technology 2025 作者：Kevin M. Dorney; Eva Nerke; Katrina Rook; Antonio Checco; Vitaly Krasnov; et al 出版日期：2025-11-06
求助人	俊逸三德在 2026-10-22 17:08:55 发布自上海，悬赏 20 积分
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